อิเล็กทรอนิกส์ / กึ่งตัวนำ โซลูชัน
ปัญหาในอุตสาหกรรม ความชื้นปริมาณน้อยทำให้ชิปเสียหาย: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการปริมาณความชื้นในอากาศอัดต่ำเป็นอย่างยิ่ง ความชื้นแม้เพียงปริมาณน้อยอาจทำให้ชิปเกิดออกซิเดชัน ลัดวงจร และลดอัตราผลผลิตอย่างมาก ฝอยน้ำมันปนเปื้อนส่งผลต่อคุณภาพเวเฟอร์: ฝอยน้ำมันในอากาศอัดเกาะติดบนพื้นผิวเวเฟอร์ ทำให้เกิดข้อบกพร่องในกระบวนการ Lithography และ Etching ส่งผลกระทบรุนแรงต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ อนุภาคฝุ่นทำให้วงจรลัดวงจร: อนุภาคขนาดเล็ก (≥0.1μm) อาจทำให้เกิดการลัดวงจรหรือวงจรเปิดภายในชิป จึงต้องการความสะอาดในระดับที่เข้มงวดมาก ความน่าเชื่อถือของการทำงานต่อเนื่อง 24/7*: โรงงานเซมิคอนดักเตอร์มักทำงาน 24/7 อุปกรณ์เสียหรือความผันผวนของอากาศจ่ายอาจหยุดสายการผลิตทั้งหมด ก่อให้เกิดความเสียหายมหาศาล โซลูชัน ระบบอบแห้งแบบรวมจุดน้ำค้างต่ำเป็นพิเศษ: ใช้เครื่องทำลมแห้งแบบรวมระบบส่งออกจุดน้ำค้างแรงดัน -40℃ อย่างคงที่ ตอบสนองความต้องการอากาศความชื้นต่ำเป็นพิเศษของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบกรองความแม่นยำสูงเรือนสแตนเลสทั้งชุด: ติดตั้งตัวกรองความแม่นยำเรือนสแตนเลส ความแม่นยำการกรองถึง 0.01μm รับประกันอากาศสะอาดปราศจากน้ำมัน ฝุ่น และจุลินทรีย์ ระบบควบคุมอัจฉริยะ PLC และการตรวจสอบระยะไกล: ติดตั้งระบบควบคุม PLC รองรับอินเทอร์เฟซสื่อสาร RS485 สามารถตรวจสอบระยะไกล วินิจฉัยข้อขัดข้องด้วยตนเองและเตือน รองรับการทำงานโดยไม่ต้องควบคุม การออกแบบซ้ำซ้อนและอากาศจ่ายไม่ขาดตอน: จุดเชื่อมต่อกระบวนการสำคัญใช้การตั้งค่า N+1…
ปัญหาในอุตสาหกรรม
ความชื้นปริมาณน้อยทำให้ชิปเสียหาย: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการปริมาณความชื้นในอากาศอัดต่ำเป็นอย่างยิ่ง ความชื้นแม้เพียงปริมาณน้อยอาจทำให้ชิปเกิดออกซิเดชัน ลัดวงจร และลดอัตราผลผลิตอย่างมาก
ฝอยน้ำมันปนเปื้อนส่งผลต่อคุณภาพเวเฟอร์: ฝอยน้ำมันในอากาศอัดเกาะติดบนพื้นผิวเวเฟอร์ ทำให้เกิดข้อบกพร่องในกระบวนการ Lithography และ Etching ส่งผลกระทบรุนแรงต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์
อนุภาคฝุ่นทำให้วงจรลัดวงจร: อนุภาคขนาดเล็ก (≥0.1μm) อาจทำให้เกิดการลัดวงจรหรือวงจรเปิดภายในชิป จึงต้องการความสะอาดในระดับที่เข้มงวดมาก
ความน่าเชื่อถือของการทำงานต่อเนื่อง 24/7*: โรงงานเซมิคอนดักเตอร์มักทำงาน 24/7 อุปกรณ์เสียหรือความผันผวนของอากาศจ่ายอาจหยุดสายการผลิตทั้งหมด ก่อให้เกิดความเสียหายมหาศาล
โซลูชัน
ระบบอบแห้งแบบรวมจุดน้ำค้างต่ำเป็นพิเศษ: ใช้เครื่องทำลมแห้งแบบรวมระบบส่งออกจุดน้ำค้างแรงดัน -40℃ อย่างคงที่ ตอบสนองความต้องการอากาศความชื้นต่ำเป็นพิเศษของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ระบบกรองความแม่นยำสูงเรือนสแตนเลสทั้งชุด: ติดตั้งตัวกรองความแม่นยำเรือนสแตนเลส ความแม่นยำการกรองถึง 0.01μm รับประกันอากาศสะอาดปราศจากน้ำมัน ฝุ่น และจุลินทรีย์
ระบบควบคุมอัจฉริยะ PLC และการตรวจสอบระยะไกล: ติดตั้งระบบควบคุม PLC รองรับอินเทอร์เฟซสื่อสาร RS485 สามารถตรวจสอบระยะไกล วินิจฉัยข้อขัดข้องด้วยตนเองและเตือน รองรับการทำงานโดยไม่ต้องควบคุม
การออกแบบซ้ำซ้อนและอากาศจ่ายไม่ขาดตอน: จุดเชื่อมต่อกระบวนการสำคัญใช้การตั้งค่า N+1 หรือระบบซ้ำซ้อนพร้อมสลับได้อย่างราบรื่น รับประกันการผลิตต่อเนื่องของสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ผลิตภัณฑ์แนะนำ
Combined Air Dryer—DM110ZHMR
Micro-Heated Desiccant Air Dryer—DM15MR / DM40MR
Refrigerated Air Dryer—DM026APF / DM026GF
Stainless Steel Precision Filter
อุปกรณ์แนะนำ
ฮาร์ดแวร์ที่ปรับให้เหมาะสมสำหรับ อิเล็กทรอนิกส์ / กึ่งตัวนำ การใช้งาน
เครื่องทำลมแห้งแบบดูดซับ